真空氣氛爐即真空技術與熱處理兩個相結合的綜合技術，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的。我國將真空劃分為低、中、高和超高真空，目前大多數電爐的工作真空度在

1.33~1.33x10-3Pa。

真空氣氛爐

氣氛爐幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進行真空釬焊、燒結、表面處理等。真空氣氛爐爐熱效率高，可實現快速升溫和降溫，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。

一般來說，被處理的工件在高溫電爐爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小。產品合格率高，可降低成本，有除氣作用，從而提高了工作的機械性能和使用壽命。工作環境好，操作安全，沒有污染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空氣氛爐工藝的穩定性和重復性好。這一系列的優點，開發設備和工藝被越來越重視和應用越來越廣。